Пленки диоксида олова, полученные ВЧ-магнетронным напылением с ионно-лучевой обработкой
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
Пленки диоксида олова, полученные ВЧ-магнетронным напылением с ионно-лучевой обработкой
| dc.contributor.author | Соломенникова, А. С. | |
| dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
| dc.contributor.author | Федотова, И. В. | |
| dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2022-04-13T06:04:02Z | |
| dc.date.available | 2022-04-13T06:04:02Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/20891 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Пленки диоксида олова, полученные ВЧ-магнетронным напылением с ионно-лучевой обработкой | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 210.pdf | 595.7Kb |
|