Нанотехнологии в сфере микроэлектроники
| dc.contributor.author | Иванников, В. П. | |
| dc.contributor.author | Кабакова, А. В. | |
| dc.date.accessioned | 2023-03-29T05:23:39Z | |
| dc.date.available | 2023-03-29T05:23:39Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/21665 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Нанотехнологии в сфере микроэлектроники | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 161.pdf | 1.016Mb |
|