Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Авторефераты
- Просмотр материала
Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
| dc.contributor.author | Закирова, Раушания Мазитовна | |
| dc.date.accessioned | 2013-11-26T07:32:44Z | |
| dc.date.available | 2013-11-26T07:32:44Z | |
| dc.date.issued | 2013-11-26 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/11132 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении | ru_RU |
| dc.type | Synopsis | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| Zakirova R. M..pdf | 1.190Mb |
|