Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Авторефераты
- Просмотр материала
Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
| Title: | Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении |
| Author: | Закирова, Раушания Мазитовна |
| URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/11132 |
| Date: | 2013-11-26 |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| Zakirova R. M..pdf | 1.190Mb |
|