Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Диссертации
- Диссертации (открытый доступ)
- Просмотр материала
Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
| dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
| dc.date.accessioned | 2014-01-27T09:01:30Z | |
| dc.date.available | 2014-01-27T09:01:30Z | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/11595 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении | ru_RU |
| dc.type | Dissertation | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| ZakirovaRM_ro.pdf | 3.089Mb |
|