Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Диссертации
- Диссертации (открытый доступ)
- Просмотр материала
Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении
| Title: | Разработка метода модификации свойств ITO плёнок ионно-лучевой обработкой при реактивном ВЧ магнетронном напылении |
| Author: | Закирова, Р. М. |
| URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/11595 |
| Date: | 2013 |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| ZakirovaRM_ro.pdf | 3.089Mb |
|