Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке
| dc.contributor.author | Алалыкин, А. С. | |
| dc.contributor.author | Ветошкин, В. М. | |
| dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
| dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
| dc.contributor.author | Федотова, И. В. | |
| dc.contributor.author | Юдинцева, К. С. | |
| dc.date.accessioned | 2017-10-16T05:58:24Z | |
| dc.date.available | 2017-10-16T05:58:24Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/16540 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 192.pdf | 329.5Kb |
|