Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке
| Title: | Получение плёнок ZnO ВЧ магнетронным распылением при ионно-лучевой обработке |
| Author: | Алалыкин, А. С.; Ветошкин, В. М.; Закирова, Р. М.; Крылов, П. Н.; Федотова, И. В.; Юдинцева, К. С. |
| URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/16540 |
| Date: | 2017 |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 192.pdf | 329.5Kb |
|