Title: | Влияние ионно-лучевой обработки на структуру и свойства пленок оксида титана |
Author: | Габова, А. К.; Крылов, П. Н.; Закирова, Р. М.; Федотова, И. В. |
URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/20890 |
Date: | 2022 |
Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
---|---|---|---|
209.pdf | 1.507Mb |