Магнетронное напыление тонких пленок никеля с сопутствующей ионной обработкой
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
Магнетронное напыление тонких пленок никеля с сопутствующей ионной обработкой
| dc.contributor.author | Назаров, К. Н. | |
| dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
| dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
| dc.contributor.author | Федотова, И. В. | |
| dc.date.accessioned | 2023-06-05T09:07:00Z | |
| dc.date.available | 2023-06-05T09:07:00Z | |
| dc.date.issued | 2022 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/21803 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Магнетронное напыление тонких пленок никеля с сопутствующей ионной обработкой | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 297.pdf | 1.046Mb |
|