dc.contributor.author | Назаров, К. Н. | |
dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
dc.contributor.author | Федотова, И. В. | |
dc.date.accessioned | 2023-06-05T09:07:00Z | |
dc.date.available | 2023-06-05T09:07:00Z | |
dc.date.issued | 2022 | |
dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/21803 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.title | Магнетронное напыление тонких пленок никеля с сопутствующей ионной обработкой | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
---|---|---|---|
297.pdf | 1.046Mb |
![]() |