Title: | Магнетронное напыление тонких пленок никеля с сопутствующей ионной обработкой |
Author: | Назаров, К. Н.; Закирова, Р. М.; Крылов, П. Н.; Федотова, И. В. |
URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/21803 |
Date: | 2022 |
Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
---|---|---|---|
297.pdf | 1.046Mb |