Создание тонких пленок на основе оксида ванадия с использованием радиочастотного магнетронного распыления
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
Создание тонких пленок на основе оксида ванадия с использованием радиочастотного магнетронного распыления
| dc.contributor.author | Метлушин, С. В. | |
| dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2024-10-17T11:46:28Z | |
| dc.date.available | 2024-10-17T11:46:28Z | |
| dc.date.issued | 2024-10-17 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/22676 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Создание тонких пленок на основе оксида ванадия с использованием радиочастотного магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 398лб_16.10.2024.pdf | 296.1Kb |
|