Title: | Создание тонких пленок на основе оксида ванадия с использованием радиочастотного магнетронного распыления |
Author: | Метлушин, С. В.; Крылов, П. Н. |
URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/22676 |
Date: | 2024-10-17 |
Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
---|---|---|---|
398лб_16.10.2024.pdf | 296.1Kb |