Получение и исследование плёнок нитрида алюминия
| dc.contributor.author | Закирова, Р. М. | |
| dc.contributor.author | Прошутин, Н. А. | |
| dc.contributor.author | Федотова, И. В. | |
| dc.contributor.author | Алалыкин, А. С. | |
| dc.contributor.author | Крылов, П. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2024-12-03T11:52:25Z | |
| dc.date.available | 2024-12-03T11:52:25Z | |
| dc.date.issued | 2024-12-03 | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/22776 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Получение и исследование плёнок нитрида алюминия | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 482лб_03.12.2024_Интернет.pdf | 1.440Mb |
|