Получение и исследование плёнок нитрида алюминия
| Title: | Получение и исследование плёнок нитрида алюминия |
| Author: | Закирова, Р. М.; Прошутин, Н. А.; Федотова, И. В.; Алалыкин, А. С.; Крылов, П. Н. |
| URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/22776 |
| Date: | 2024-12-03 |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| 482лб_03.12.2024_Интернет.pdf | 1.440Mb |
|