Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Диссертации
- Диссертации (открытый доступ)
- Просмотр материала
Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
| dc.contributor.author | Ветошкин, В. М. | |
| dc.date.accessioned | 2009-12-29T09:08:11Z | |
| dc.date.available | 2009-12-29T09:08:11Z | |
| dc.date.issued | 2009-12-29T09:08:11Z | |
| dc.identifier.uri | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/4596 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.title | Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца | ru_RU |
| dc.type | Dissertation | ru_RU |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| Vetoshkin.pdf | 1.452Mb |
|