Title: | Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца |
Author: | Ветошкин, В. М. |
URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/4596 |
Date: | 2009-12-29 |
Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
---|---|---|---|
Vetoshkin.pdf | 1.452Mb |
![]() |