Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
Репозиторий электронной библиотеки/Manakin
- Главная страница
- Научная библиотека УдГУ
- Диссертации
- Диссертации (открытый доступ)
- Просмотр материала
Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца
| Title: | Экспериментальная установка для исследования вакуумно-плазменных процессов обработки кварца |
| Author: | Ветошкин, В. М. |
| URI: | http://elibrary.udsu.ru/xmlui/handle/123456789/4596 |
| Date: | 2009-12-29 |
Файлы материала
| Имя файла | Размер | Формат | Просмотр |
|---|---|---|---|
| Vetoshkin.pdf | 1.452Mb |
|